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OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動(dòng)開(kāi)啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源，三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)（量程為1-100SCCM， 1-200SCCM，1-200SCCM），直徑為60mm的開(kāi)啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。

CVD系統(tǒng)管式爐是一種重要的材料制備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所、工礦企業(yè)等實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)之中。它主要用于在固態(tài)基材上沉積一層薄膜，其組成部分包括高溫真空管式爐、氣路和真空系統(tǒng)。

管式爐搭配質(zhì)子（浮子）供氣系統(tǒng)真空系統(tǒng)和分子泵機(jī)組，形成高真空CVD系統(tǒng)。CVD系統(tǒng)管式爐是一種重要的材料制備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所、工礦企業(yè)等實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)之中。它主要用于在固態(tài)基材上沉積一層薄膜，其組成部分包括高溫真空管式爐、氣路和真空系統(tǒng)。